La Chine a commencé à produire des machines de lithographie par immersion dans l'ultraviolet profond développées sur son territoire, selon Reuters et The Information. Cette avancée pourrait compter dans la stratégie de Pékin visant à réduire sa dépendance aux équipements étrangers pour les semi-conducteurs. Reuters a indiqué mardi 28 juillet que le groupe public Shanghai Aishengna Electronic Technology dirigeait le projet, en citant une source proche de ce programme sensible.
The Information avait d'abord révélé qu'un fabricant public de Shanghai était passé à la production et prévoyait environ cinq systèmes en 2026, puis près de vingt en 2027. Reuters a ensuite identifié cette société comme étant Aishengna. Les premières machines devraient être livrées cette année à Semiconductor Manufacturing International Corporation, Hua Hong Semiconductor et au fabricant de mémoires ChangXin Memory Technologies, mais ces entreprises n'ont pas confirmé ce calendrier.
Les systèmes DUV à immersion projettent les motifs des circuits sur des plaquettes de silicium et restent essentiels à l'industrie. Ils peuvent graver des caractéristiques de classe 28 nanomètres en une seule exposition et atteindre des procédés plus fins grâce à des expositions répétées, une méthode plus complexe qui peut diminuer le rendement. Le néerlandais ASML, dominant sur ce marché, affirme que sa plateforme récente dépasse 300 plaquettes par heure en grande série avec une précision de superposition inférieure au nanomètre.
Reuters précise qu'Aishengna a intégré des équipes de Shanghai Yuliangsheng Technology et de Shanghai Micro Electronics Equipment. D'après les registres d'entreprises cités par l'agence, Aishengna a été créée en août 2023 avec un capital de 7 milliards de yuans, soit environ 1 milliard de dollars, apporté par deux actionnaires publics. Des médias spécialisés ajoutent que la plupart des composants sont chinois, mais que certaines pièces critiques viennent encore du Japon et que des retards de fournisseurs limitent la cadence.
Cette étape ne démontre pas encore que la Chine peut égaler ASML ni exploiter ces machines de manière fiable dans une production commerciale. Reuters souligne que les équipements nécessitent des essais supplémentaires et restent très en retrait des systèmes néerlandais concurrents. Tom's Hardware rappelle que leur qualification dans des usines actives peut durer plusieurs mois, tandis qu'ASML décrit la DUV comme un pilier industriel et améliore toujours ses propres plateformes.
Le programme pourrait néanmoins offrir une solution de remplacement aux fabricants chinois si les gouvernements occidentaux limitent davantage les exportations ou la maintenance. La Chine ne peut pas acheter les systèmes EUV les plus avancés d'ASML et les contrôles néerlandais couvrent aussi certaines machines DUV avancées. Le prochain test sera de respecter les livraisons et de vérifier si SMIC, Hua Hong et CXMT peuvent qualifier ces outils sans sacrifier la fiabilité, la cadence ou le rendement des puces.
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