China hat nach Berichten von Reuters und The Information mit der Herstellung im Inland entwickelter Immersionslithografieanlagen mit tiefem Ultraviolettlicht begonnen. Der Schritt könnte Pekings Bemühungen voranbringen, die Abhängigkeit von ausländischer Halbleiterausrüstung zu verringern. Reuters meldete am Dienstag, dem 28. Juli, dass der staatliche Konzern Shanghai Aishengna Electronic Technology die Arbeiten leitet, und berief sich auf eine mit dem sensiblen Programm vertraute Person.
The Information berichtete zuerst, ein staatlich gestützter Hersteller in Shanghai habe die Produktion aufgenommen und plane etwa fünf Systeme im Jahr 2026 sowie rund 20 im Jahr 2027. Reuters identifizierte das Unternehmen anschließend als Aishengna. Die ersten Maschinen sollen noch in diesem Jahr an Semiconductor Manufacturing International Corporation, Hua Hong Semiconductor und den Speicherhersteller ChangXin Memory Technologies gehen. Die genannten Firmen bestätigten diese Pläne jedoch nicht.
Immersions-DUV-Systeme projizieren Schaltkreismuster auf Siliziumwafer und bleiben für die Chipindustrie unverzichtbar. Sie erzeugen Strukturen der 28-Nanometer-Klasse mit einer Belichtung und ermöglichen durch wiederholte Strukturierung kleinere Prozessknoten, wobei die höhere Komplexität den Ertrag senken kann. Der niederländische Marktführer ASML erklärt, seine neueste Immersionsplattform verarbeite in der Großserienfertigung mehr als 300 Wafer je Stunde bei einer Überlagerungsgenauigkeit unter einem Nanometer.
Laut Reuters integrierte Aishengna Teams von Shanghai Yuliangsheng Technology und Shanghai Micro Electronics Equipment. Von der Agentur ausgewertete Unternehmensregister nennen August 2023 als Gründungsdatum, zwei staatliche Anteilseigner und ein eingetragenes Kapital von 7 Milliarden Yuan, etwa 1 Milliarde Dollar. Fachmedien berichten, dass die meisten Bauteile aus China stammen, einige entscheidende Komponenten aber weiterhin aus Japan kommen und Verzögerungen bei Zulieferern die Produktion bremsen.
Die Entwicklung belegt noch nicht, dass China ASML erreicht oder die Anlagen zuverlässig in kommerziellen Fabriken betreibt. Reuters zufolge benötigt die Ausrüstung weitere Tests und liegt deutlich hinter den konkurrierenden niederländischen Systemen. Tom's Hardware weist darauf hin, dass die Qualifizierung in laufenden Fabriken viele Monate dauern kann. ASML bezeichnet DUV zugleich als Arbeitspferd der Branche und steigert weiterhin Leistung sowie Kapazität seiner eigenen Plattformen.
Das Programm kann chinesischen Chipherstellern dennoch eine Alternative bieten, falls westliche Regierungen Exporte oder Wartungsdienste stärker begrenzen. China erhält keine modernsten EUV-Systeme von ASML, und niederländische Kontrollen erfassen auch bestimmte fortgeschrittene DUV-Anlagen. Nun muss Aishengna die Lieferziele erfüllen. Danach entscheidet sich, ob SMIC, Hua Hong und CXMT die Systeme qualifizieren, ohne Zuverlässigkeit, Durchsatz oder Chipausbeute zu beeinträchtigen.
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